621.38 К682 Королев, М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для вузов: В 2-х ч. / Королев М.А. [и др.]; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2. Ч. 2 : Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. - 2009. - 422 с. : ил. - ISBN 978-5-94744-585-6 : 305.87 р., 230 р. Рек. УМО ГРНТИ 47.13.11 УДК:621.38.049.77(075.8) Ключевые слова: кремниевые интегральные микросхемы -- интегральные схемы -- масштабирование интегральных микросхем -- маршруты изготовления микросхем -- металлизация интегральных микросхем -- плазменное формирование трехмерных микроструктур -- глубокое анизотропное плазменное травление -- приборно-технологическое моделирование -- учебные пособия Доп.точки доступа: Крупкина, Т.Ю. --- Путря, М.Г. --- Шевяков, В.И. --- Чаплыгин, Ю.А. \ред.\ --- Экземпляры всего: 3 Mесто хранения: чз (2), зал ППС (1) Свободны: чз (2), зал ППС (1) |
6П3.4 Б423 Беккерт, М. Справочник по металлографическому травлению : Пер. с нем. / М. Беккерт, Х. Клемм. - М. : Металлургия, 1979. - 336 с. : ил. - 1.50 р. ГРНТИ 53.49 УДК:620.18 Ключевые слова: травление металлографическое -- металлографическое травление -- металлы -- сплавы металлов -- нелегированные стали -- микротравление -- макротравление -- специальные стали Доп.точки доступа: Клемм, Х. --- Экземпляры всего: 9 Mесто хранения: кх (4), аб (5) Свободны: кх (4), аб (5) |
6П2.151 К43 Киреев, Валерий Юрьевич. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур : научное издание / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126 с. : ил. - (Массовая б-ка инженера "Электроника" ; вып. 36). - 0.35 р. ГРНТИ 47.29 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: травление вакуумно-плазменное -- вакуумно-плазменное травление Доп.точки доступа: Данилин, Борис Степанович --- Кузнецов, Владимир Иванович --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П2.151 М80 Моро, Уэйн Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5. Ч. 2 / Пер. с англ. Д.Ю. Зарослова, К.Я. Мокроусова, В.А. Никитаева под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 632 с. : ил. - ISBN 5-03-001717-8 : 5.00 р. ГРНТИ 47 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- задубливание -- травление -- удаление резистов -- литография -- безрезистная технология Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |
621.38 П781 Проблемы субмикронной технологии : научное издание / ФТИАН ; Отв. ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1993. - 113 с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 6). - ISBN 5-02-006991-4 : 150 р. ГРНТИ 47.13 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: субмикронная технология -- технология микроэлектроники -- травление кремния -- плазмохимическое травление -- ионная имплантация -- лазерный отжиг полупроводников Доп.точки доступа: Орликовский, А.А. \ред.\ --- ФТИАН Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: чз (1) Свободны: чз (1) |
6П2.151 Б447 Беляева, Нина Константиновна. Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов : (по описаниям заруб. изобретений за 1971-1980 гг.) / Н. К. Беляева, А. И. Маштакова. - М. : ЦНИИ "Электроника", 1981. - 50 с. : ил. - (Обзоры по электронной технике. Сер. 1, Электроника СВЧ ; Вып. 12(830)). - 0.60 р. ГРНТИ 47.33 УДК:621.385.6 Ключевые слова: травление -- плазменное травление -- СВЧ -- ВЧ -- газовые разряды -- обзоры Доп.точки доступа: Маштакова, Антонина Ивановна --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П5.7 Р64 Розбери, Фред. Справочник по вакуумной технике и технологии : справочное издание / Ф. Розбери ; Пер. с англ. Н. Б. Шпаро, А. М. Ямпольского; Под общ. ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1972. - 456 с. : ил. - 3.69 р. ГРНТИ 81.29 УДК:621.52(035) Ключевые слова: вакуумная техника -- очистка электронных приборов -- электролитическое покрытие -- травление -- термообработка -- подогреватели -- термоэлектронные катоды -- геттеры -- справочники Доп.точки доступа: Нилендер, Р.А. \ред.\ --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П4.52 Р177 Разработка и внедрение на ГПЗ-4 нового травильного раствора и оптимальных режимов травления на ожоги деталей приборных подшипников из нержавеющих сталей: Тема 156- 1Х-84 : Копия отчета о НИР / ВНТИЦ, ВНИИ подшипниковой промышленности ; рук. работы Е. А. Островская. - Загорск, 1986. - 48 с. : ил. - № ГР 01840051922. - Инв.№ 0285.0 064249 ГРНТИ 55.03.33 УДК:621.822 РУБ 6П4.52---Ключевые слова: детали приборных подшипников -- подшипники из нержавеющих сталей -- травильные растворы -- травление -- копии отчетов о НИР Доп.точки доступа: Островская, Е.А. \рук. работы.\ --- ВНТИЦ ВНИИ подшипниковой промышленности Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П4.2 Л399 Ледков, Вячеслав Георгиевич. Непрерывные травильные линии : производственно-практическое издание / В. Г. Ледков. - М. : Металлургиздат, 1961. - 158 с. : ил. - 0.48 р. ГРНТИ 53.43 УДК:621.794 Ключевые слова: травление -- травильные линии -- непрерывные травильные линии -- горячая прокатка -- окалина -- серная кислота -- травильные растворы -- травильное оборудование Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П4.52 Д182 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - 1.40 р. ГРНТИ 55.22.15 УДК:621.794 Ключевые слова: обработка поверхностей -- травление материалов -- очистка материалов -- низкотемпературная плазма -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- плазменное травление -- реактивное травление -- вакуумно-плазменное травление -- монографии Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич --- Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |
6П4.52 И889 Исследование технологии разделительно-избирательного травления : Гл. отчета на 12 листах: Копия отчета о НИР / ВНТИЦ. - М., 1987. - 12 с. : ил. - 1.40 р. - № ГР 0286.0 107459. - Инв.№ Г76901 ГРНТИ 55.22 УДК:621.794621.382 Ключевые слова: обработка поверхностей -- покрытия -- нанесение покрытий -- разделительно-избирательное травление металлов -- копии отчетов о НИР Доп.точки доступа: ВНТИЦ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П5.5 Ж648 Жетвин, Никита Петрович. Удаление окалины с поверхности металла [Текст] : производственно-практическое издание / Н. П. Жетвин, Ф. С. Раховская, В. И. Ушаков. - Изд. 2-е, перераб. и доп. - М. : Металлургия, 1964. - 195 с. : ил. - 0.76 р. ГРНТИ 55.22 УДК:621.794 Ключевые слова: покрытия -- окалина -- удаление окалины -- травление сталей -- травильные растворы -- утилизация травильных растворов Доп.точки доступа: Раховская, Фаина Самойловна --- Ушаков, Виктор Иванович --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: аб (1) Свободны: аб (1) |
6П4.52 Л592 Линия автоматическая травления деталей из алюминиевых сплавов АЛХ-158 : Копия отчета о НИР : 01.1.10.85 / ВНТИЦ ; Рук. темы Ю. А. Окулов. - М., 1986. - 6 с. : ил. - 0.80 р. - № ГР 01.85.0 014010. - Инв.№ 0285.0 075050 ГРНТИ 55.22 УДК:621.794 Ключевые слова: обработка поверхностей -- отделка поверхностей -- травление деталей -- копии отчетов о НИР Доп.точки доступа: Окулов, Ю.А. \рук. работы.\ --- ВНТИЦ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П4.52 Р177 Разработка и освоение опытно-промышленной установки и технологии солевого травления с электродиализной регенерацией : Копия отчета о НИР (промежут.) : 5.41-1(81)-3-24-84 / ВНТИЦ ; Науч. рук. И. Н. Загурская. - М. : [б. и.], 1987. - 61 с. : ил. - 6.70 р. - № ГР 01840006314. - Инв.№ 0286.0 100271 ГРНТИ 55.22 УДК:621.794 Ключевые слова: обработка поверхностей -- отделка поверхностей -- солевое травление -- электродиализная регенерация -- копии отчетов о НИР Доп.точки доступа: Загурская, И.Н. \рук. работы.\ --- ВНТИЦ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П4.52 П44 Подбор ингибитора для защиты инструментальной стали при травлении после термообработки : Копия отчета о НИР (заключит.) / ВНТИЦ ; Рук. темы А. М. Пинус. - М., 1987. - 42 с. : ил. - 4.40 р. ГРНТИ 81.33.29 УДК:620.197.3 Ключевые слова: ингибиторы коррозии -- травление -- защита инструментальных сталей -- ножовочные полотна -- оксидирование -- копии отчетов о НИР Доп.точки доступа: Пинус, А.М. \рук. работы.\ --- ВНТИЦ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П4.52 К689 Коррозия и защита конструкционных металлических материалов : Сб. ст. / Под ред. Н. Д. Томашова. - М. : Машгиз, 1961. - 258 с. : ил. - 0.94 р. ГРНТИ 81.33 УДК:620.193620.197 Ключевые слова: газовая коррозия -- термообработка сплавов -- травление -- коррозионная стойкость хромоникелевых сталей -- коррозионная стойкость титана -- кислоты при повышенных температурах -- коррозионная выносливость стали Доп.точки доступа: Томашов, Н.Д. \ред.\ --- Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (1), аб (1) Свободны: кх (1), аб (1) |
6П4.4 Ш875 Штанько, Владлен Михайлович. Электрохимическая обработка металлопродукции : Справочник / В. М. Штанько, Э. А. Животовский. - М. : Металлургия, 1986. - 336 с. : ил. - 1.60 р. ГРНТИ 55.20 УДК:621.9.047(035) Ключевые слова: электрохимическое полирование металлов -- обезжиривание -- анодное растворение -- травление -- стал -- прецизионные сплавы -- прокат -- электрохимическая очистка деталей -- эрозионно-электрохимическая обработка металлов -- коррозионная стойкость изделий -- надежность проката -- оксидирование металлов -- гальванические покрытия -- ингибиторы кислотной коррозии проката -- защита окружающей среды -- справочники -- справочники Доп.точки доступа: Животовский, Эдуард Александрович --- Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |
6П4.51 Б423 Беккерт, М. Способы металлографического травления : Справочник / М. Беккерт, Х. Клемм ; Пер. с нем. Н. И. Туркиной, Е. Я. Капуткина ; Под ред. И. Н. Фридляндера, Ф. И. Квасова, Г. Б. Строганова. - М. : Металлургия, 1988. - 400 с. : ил. - ISBN 5-229-00419-3 : 1.90 р. ГРНТИ 55.22 УДК:621.794(035) Ключевые слова: металлографическое травление -- металлография -- травление -- макротравление металлов -- микротравление металлов -- справочники Доп.точки доступа: Клемм, Х. --- Фридляндер, И.Н. \ред.\ --- Квасова, Ф.И. \ред.\ --- Строганова, Г.Б. \ред.\ --- Экземпляры всего: 4 Mесто хранения: кх (3), аб (1) Свободны: кх (3), аб (1) |
6п4.51 Б241 Баранова, Лариса Владимировна. Металлографическое травление металлов и сплавов : Справочник / Л. В. Баранова, Э. Л. Демина. - М. : Металлургия, 1986. - 256 с. : ил. - 1 р. ГРНТИ 55.22 УДК:621.794(035) Ключевые слова: металлографическое травление металлов -- металлографическое травление сплавов -- полирование металлов -- макротравление металлов -- неметаллические включения -- справочники Доп.точки доступа: Демина, Элеонора Леонидовна --- Экземпляры всего: 10 Mесто хранения: кх (4), аб (6) Свободны: кх (4), аб (6) |
6п4.51 Р17 Разработка техпроцесса и установки для регенерации травильного раствора : Копия отчета о НИР : 33250 / ВНТИЦ ; Рук. Л. А. Кураковский. - М., 1986. - 35 с. - 3.50 р. - № ГР У69325. - Инв.№ 0285.0 049026 ГРНТИ 55.22 УДК:621.794 Ключевые слова: обработка поверхностей -- регенерация травильных растворов -- травильные установки -- копии отчетов о НИР Доп.точки доступа: Кураковский, Л.А. \рук.\ --- ВНТИЦ Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |