6П2.151 К43 Киреев, Валерий Юрьевич. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур : научное издание / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126 с. : ил. - (Массовая б-ка инженера "Электроника" ; вып. 36). - 0.35 р. ГРНТИ 47.29 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: травление вакуумно-плазменное -- вакуумно-плазменное травление Доп.точки доступа: Данилин, Борис Степанович --- Кузнецов, Владимир Иванович --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П4.52 Д182 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - 1.40 р. ГРНТИ 55.22.15 УДК:621.794 Ключевые слова: обработка поверхностей -- травление материалов -- очистка материалов -- низкотемпературная плазма -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- плазменное травление -- реактивное травление -- вакуумно-плазменное травление -- монографии Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич --- Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |