6П4.52 Д182 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - 1.40 р. ГРНТИ 55.22.15 УДК:621.794 Ключевые слова: обработка поверхностей -- травление материалов -- очистка материалов -- низкотемпературная плазма -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- плазменное травление -- реактивное травление -- вакуумно-плазменное травление -- монографии Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич --- Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |