621
   В411
    Вивденко, Юрий Николаевич.
    Технологические системы производства деталей наукоемкой техники : Учеб. пособие для вузов по напр. "Конструктор.-технол. обеспеч. машиностр. пр-в" / Ю.Н. Вивденко. - М. : Машиностроение, 2006. - 558 с. : ил. - (Для вузов). - ISBN 5-217-03334-7 : 598.00 р., 666.05 р., 578.00 р., 578.50 р.
Допущено МОиН РФ
ГРНТИ 81.13.13
УДК:621(075.8)

Рубрики: Машиностроение--Технологические системы--Учебные пособия ---
Ключевые слова: технологические системы производства деталей -- наукоемкая техника -- производство деталей наукоемкой техники -- предварительный нагрев материалов -- электроалмазное шлифование -- смазочно-охлаждающие технологические средства -- отделочно-зачистная обработка -- вибрационная обработка -- галтовочная обработка -- центробежная обработка -- магнитно-абразивная обработка -- абразивно-экструзионное полирование -- струйно-абразивная обработка -- упрочнение металлов -- деформационное упрочнение -- легирование -- поверхностное пластическое деформирование -- лазерное упрочнение -- ионная имплантация -- электроэрозионное упрочнение -- газотермическое напыление -- прецизионная обработка -- нанотехнологии -- промышленная чистота -- контроль промышленной чистоты изделий -- учебные пособия
Экземпляры всего: 14
Mесто хранения: чз (3), аб (11)
Свободны: чз (3), аб (11)

   621.38
   К682
   Королев, Михаил Александрович
    Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для вузов по спец. 240104 (200100) "Микроэлектроника и твердотел. электроника": В 2-х ч. / М.А. Королёв, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2007 - . - ISBN 978-5-94774-337-1.
   Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование : . - 2007. - 397 с. : ил. - ISBN 978-5-94774-336-4 : 200 р.
Рек. УМО
ГРНТИ 47.03.05
УДК:621.38.049.77(075.8)

Рубрики: Микроэлектроника--Интегральные микросхемы--Учебные пособия ---
Ключевые слова: интегральные микросхемы -- кремниевые интегральные схемы -- полупроводниковые материалы -- диэлектрические пленки -- легирование полупроводниковых материалов -- литографические процессы -- металлизация -- математическое моделирование -- ионная имплантация -- термическое окисление кремния -- диффузия примеси -- моделирование травления -- осаждение слоев -- фитолитография -- учебные пособия
Доп.точки доступа: Крупкина, Татьяна Юрьевна --- Ревелева, Марина Алексеевна --- Чаплыгин, Ю.А. \ред.\ ---
Экземпляры всего: 3
Mесто хранения: зал ППС (1), чз (2)
Свободны: зал ППС (1), чз (2)

   621.38
   Г74
    Готра, Зенон Юрьевич.
    Технология микроэлектронных устройств : Справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил. - ISBN 5-256-00699-1 : 4 р.
ГРНТИ 47.13.11
УДК:621.38.049.77(035)

Рубрики: Микроэлектроника--Микроэлектронные устройства--Технология--Справочники ---
Ключевые слова: микроэлектронные устройства -- технология микроэлектронных устройств -- монокристаллические материалы -- полупроводниковые материалы -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотошаблоны -- сборка микроэлектронных устройств -- герметизация микроэлектронных устройств -- справочники
Экземпляры всего: 7
Mесто хранения: аб (5), чз (1), зал ППС (1)
Свободны: аб (5), чз (1), зал ППС (1)

   621.38
   П781
   
    Проблемы субмикронной технологии : научное издание / ФТИАН ; Отв. ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1993. - 113 с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 6). - ISBN 5-02-006991-4 : 150 р.
ГРНТИ 47.13
УДК:621.38.049.77

Рубрики: Микроэлектроника--Технология ---
Ключевые слова: субмикронная технология -- технология микроэлектроники -- травление кремния -- плазмохимическое травление -- ионная имплантация -- лазерный отжиг полупроводников
Доп.точки доступа: Орликовский, А.А. \ред.\ --- ФТИАН

Экземпляры всего: 1
Mесто хранения: чз (1)
Свободны: чз (1)

   621.89
   Т67
   
    Трибология : Исследования и приложения : Опыт США и стран СНГ / Под ред. В. А. Белого, К. Лудемы, Н. К. Мышкина. - Москва : Машиностроение, 1993. - 451 с. : ил. - ISBN 5-217-00975-6 : 1800.00 р.
ГРНТИ 55.03.11
УДК:621.89531.4621.81

Рубрики: Трибология--Трение--Смазка--Изнашивание--США--СНГ ---
Ключевые слова: трение твердых тел -- изнашивание твердых тел -- кислотно-основные реакции твердых тел -- фрикционное взаимодействие твердых тел -- триботехническое материаловедение -- деформации при изнашивании -- металлические материалы -- полимеры -- композиты -- модифицикация поверхностей -- вакуумно ионно-плазменный метод -- ионная имплантация -- твердые смазки -- полимерные самосмазывающиеся материалы -- граничная смазка -- подшипниковые сплавы -- трибология электрических контактов -- испытания на износ -- диагностика изнашивания подвижных сопряжений
Доп.точки доступа: Белый, В. А. \ред.\ --- Лудема, К. \ред.\ --- Мышкин, Н. К. \ред.\ ---
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: зал ППС (1), чз (1)
Свободны: зал ППС (1), чз (1)

   6П4.4
   М744
   
    Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками : научное издание / Пер. с англ. Н.К. Мышкина, А.В. Белого, В.М. Анищика ; Под ред. Дж. Поута [и др.]. - М. : Машиностроение, 1987. - 424 с. : ил. - 2.20 р.
ГРНТИ 55.20.15
УДК:621.9.048

Рубрики: Электрохимическая обработка--Обработка потоками энергии ---
Ключевые слова: модифицирование поверхности металлов -- легирование поверхности металлов -- импульсное лазерное облучение -- электронное облучение -- ионное облучение -- кристаллизация -- сегрегация -- пересыщенные сплавы -- твердофазная перекристаллизация в кремнии -- метастабильные фазы -- каскады столкновений -- термические пики -- перераспределение примесей -- стабильность фаз при облучении -- ионно-лучевое перемещение -- распыление атомовлен -- легирование алюминия -- ионная имплантация -- лазерное поверхностное легирование
Доп.точки доступа: Поут, Дж. \ред.\ --- Фоти, Г. \ред.\ --- Джекобсон, Д.К. \ред.\ ---
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)