621.38 К682 Королев, М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для вузов: В 2-х ч. / Королев М.А. [и др.]; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2. Ч. 2 : Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. - 2009. - 422 с. : ил. - ISBN 978-5-94744-585-6 : 305.87 р., 230 р. Рек. УМО ГРНТИ 47.13.11 УДК:621.38.049.77(075.8) Ключевые слова: кремниевые интегральные микросхемы -- интегральные схемы -- масштабирование интегральных микросхем -- маршруты изготовления микросхем -- металлизация интегральных микросхем -- плазменное формирование трехмерных микроструктур -- глубокое анизотропное плазменное травление -- приборно-технологическое моделирование -- учебные пособия Доп.точки доступа: Крупкина, Т.Ю. --- Путря, М.Г. --- Шевяков, В.И. --- Чаплыгин, Ю.А. \ред.\ --- Экземпляры всего: 3 Mесто хранения: чз (2), зал ППС (1) Свободны: чз (2), зал ППС (1) |
621.38 А471 Алексеева, Наталья Ильинична. Интегральные микросхемы: проектирование, технология : учебное пособие для вузов по направлению 211000 "Конструирование и технология электронных средств" / Н. И. Алексеева, Н. В. Рубан ; Омск. гос. техн. ун-т. - Омск : Издательство ОмГТУ, 2012. - 105 с. : рис., табл. ; 21 см. - Библиогр.: с. 76. - 50 экз.. - ISBN 978-5-8149-1298-5 : 93.40 р. Допущено УМО ГРНТИ 47.33.31 УДК:621.38.049.77(075.8) Ключевые слова: гибридные интегральные микросхемы -- тонкопленочные интегральные микросхемы -- проектирование интегральных микросхем -- расчеты гибридных интегральных микросхем -- технология изготовления интегральных микросхем -- конструкции элементов интегральных микросхем -- компоненты интегральных микросхем -- учебные пособия Доп.точки доступа: Рубан, Надежда Васильевна --- Омский государственный технический университет Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: зал ППС (2) Свободны: зал ППС (2) |