621.38 К682 Королев, М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для вузов: В 2-х ч. / Королев М.А. [и др.]; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2. Ч. 2 : Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. - 2009. - 422 с. : ил. - ISBN 978-5-94744-585-6 : 305.87 р., 230 р. Рек. УМО ГРНТИ 47.13.11 УДК:621.38.049.77(075.8) Ключевые слова: кремниевые интегральные микросхемы -- интегральные схемы -- масштабирование интегральных микросхем -- маршруты изготовления микросхем -- металлизация интегральных микросхем -- плазменное формирование трехмерных микроструктур -- глубокое анизотропное плазменное травление -- приборно-технологическое моделирование -- учебные пособия Доп.точки доступа: Крупкина, Т.Ю. --- Путря, М.Г. --- Шевяков, В.И. --- Чаплыгин, Ю.А. \ред.\ --- Экземпляры всего: 3 Mесто хранения: чз (2), зал ППС (1) Свободны: чз (2), зал ППС (1) |