6П2.151 К56 Ковалев, Лев Кузьмич. Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники : (по данным отеч. и зарубежной печати) / Л. К. Ковалев. - М. : ЦНИИ "Электроника", 1982. - 83 с. : ил. - (Обзоры по электронной технике ; сер. 11. Лазерная техника и оптоэлектроника ; Вып. 2(886)). - 0.43 р. ГРНТИ 47.35 УДК:621.383 Ключевые слова: вакуумное оборудование -- тонкопленочные структуры квантовой электроники -- обзоры Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |