6П2.151 Ч-563 Чехович, Евгений Казимирович. Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники : научное издание / Е. К. Чехович ; Ин-т электроники АН БССР. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. : ил. - ISBN 5-343-00087-8 : 1.70 р. ГРНТИ 47.33 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: топология изделий микроэлектроники -- контроль топологии изделий -- контрольно-измерительное оборудование -- преобразование информации -- оптико-электронные методы контроля Доп.точки доступа: Ин-т электроники АН БССР Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |