Поиск ведется по:
Общее количество найденных документов : 1
1. 621.38
К682
Королев, Михаил Александрович
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для вузов по спец. 240104 (200100) "Микроэлектроника и твердотел. электроника": В 2-х ч. / М.А. Королёв, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2007 - . - ISBN 978-5-94774-337-1.
Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование : . - 2007. - 397 с. : ил. - ISBN 978-5-94774-336-4 : 200 р.
Рек. УМО
ГРНТИ 47.03.05
УДК:621.38.049.77(075.8)
Ключевые слова: интегральные микросхемы -- кремниевые интегральные схемы -- полупроводниковые материалы -- диэлектрические пленки -- легирование полупроводниковых материалов -- литографические процессы -- металлизация -- математическое моделирование -- ионная имплантация -- термическое окисление кремния -- диффузия примеси -- моделирование травления -- осаждение слоев -- фитолитография -- учебные пособия
Доп.точки доступа: Крупкина, Татьяна Юрьевна --- Ревелева, Марина Алексеевна --- Чаплыгин, Ю.А. \ред.\ ---
Экземпляры всего: 3
Mесто хранения: зал ППС (1), чз (2)
Свободны: зал ППС (1), чз (2)
Найти похожие
К682
Королев, Михаил Александрович
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для вузов по спец. 240104 (200100) "Микроэлектроника и твердотел. электроника": В 2-х ч. / М.А. Королёв, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2007 - . - ISBN 978-5-94774-337-1.
Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование : . - 2007. - 397 с. : ил. - ISBN 978-5-94774-336-4 : 200 р.
Рек. УМО
ГРНТИ 47.03.05
УДК:621.38.049.77(075.8)
Ключевые слова: интегральные микросхемы -- кремниевые интегральные схемы -- полупроводниковые материалы -- диэлектрические пленки -- легирование полупроводниковых материалов -- литографические процессы -- металлизация -- математическое моделирование -- ионная имплантация -- термическое окисление кремния -- диффузия примеси -- моделирование травления -- осаждение слоев -- фитолитография -- учебные пособия
Доп.точки доступа: Крупкина, Татьяна Юрьевна --- Ревелева, Марина Алексеевна --- Чаплыгин, Ю.А. \ред.\ ---
Экземпляры всего: 3
Mесто хранения: зал ППС (1), чз (2)
Свободны: зал ППС (1), чз (2)
Найти похожие