621.38 П781 Проблемы субмикронной технологии : научное издание / ФТИАН ; Отв. ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1993. - 113 с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 6). - ISBN 5-02-006991-4 : 150 р. ГРНТИ 47.13 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: субмикронная технология -- технология микроэлектроники -- травление кремния -- плазмохимическое травление -- ионная имплантация -- лазерный отжиг полупроводников Доп.точки доступа: Орликовский, А.А. \ред.\ --- ФТИАН Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: чз (1) Свободны: чз (1) |