621.38 В155 Валиев, Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии : научное издание / К. А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - ISBN 5-02-014381-2 : 7.50 р. ГРНТИ 47 УДК:621.38 Ключевые слова: литография -- субмикронная литография -- электронная литография -- ионно-лучевая литография -- фотолитография -- оптическая литография -- резисты Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: чз (1) Свободны: чз (1) |
6П2.151 Т22 Таруи, Ясуо. Основы технологии сверхбольших интегральных схем : научное издание / Я. Таруи ; Пер. с яп. В.А. Лазарева под ред. В.Г. Ржанова. - М. : Радио и связь, 1985. - 480 с. : ил. - 2.70 р. ГРНТИ 47.33.31 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: интегральные схемы -- сверхбольшие интегральные схемы -- СБИС -- технология СБИС -- литография -- электронно-лучевая литография Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П2.151 Т407 Тилл, Уильям. Интегральные схемы : Материалы, приборы, изготовление / У. Тилл, Дж. Лаксон ; Пер. с англ. М.Б. Левина, В.Г. Микулицкого под ред. М.В. Гальперина. - М. : Мир, 1985. - 504 с. : ил. - 2.40 р. ГРНТИ 47.33.31 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: интегральные схемы -- технология интегральных схем -- диоды -- транзисторы -- литография Доп.точки доступа: Лаксон, Джеймс --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П2.151 Э455 Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов : производственно-практическое издание / Пер. с англ. под ред. Ф.П. Пресса ; Под ред. Дж. Р. Брюэра. - М. : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. - 1.90 р. ГРНТИ 47.13.11 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: электронно-лучевые установки -- микроэлектронные приборы -- литография Доп.точки доступа: Брюэр, Джордж Р. \ред.\ --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
6П2.151 М80 Моро, Уэйн Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5. Ч. 2 / Пер. с англ. Д.Ю. Зарослова, К.Я. Мокроусова, В.А. Никитаева под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 632 с. : ил. - ISBN 5-03-001717-8 : 5.00 р. ГРНТИ 47 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- задубливание -- травление -- удаление резистов -- литография -- безрезистная технология Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |
621.38 Г74 Готра, Зенон Юрьевич. Справочник по технологии микроэлектронных устройств : справочное издание / З. Ю. Готра. - Львов : Каменяр, 1986. - 287 с. : ил. - 1 р. ГРНТИ 47.13.11 УДК:621.38.049.77(035) Ключевые слова: микроэлектронные устройства -- технология микроэлектронных устройств -- полупроводниковые материалы -- литография -- тонкие пленки -- фотошаблоны -- сборка микроэлектронных устройств -- справочники Экземпляры всего: 3 Mесто хранения: зал ППС (1), чз (1), аб (1) Свободны: зал ППС (1), чз (1), аб (1) |
6П2.151 М341 Материалы электронной техники / Отв. ред. Ф. А. Кузнецов, М. В. Мохосоев; Ин-т неорган. химии СО АН СССР. - Новосибирск : Наука, 1983 - . Ч. 2 : Состав, структура и электрофизические свойства. - 1983. - 192 с. : ил. - 2.10 р. ГРНТИ 47 УДК:621.382 Ключевые слова: материалы электронной техники -- полупроводниковое материаловедение -- материаловедение -- оксидные пленки -- контакты металл-полупроводник -- барьер Шоттки -- электрические свойства полупроводников -- МДП-структуры -- резисты -- литография вакуумная -- сборники Доп.точки доступа: Кузнецов, Федор Андреевич \ред.\ --- Мохосоев, Маркс Васильевич \ред.\ --- Ин-т неорган. химии СО АН СССР Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
75 В272 Великая Отечественная война : Альбом - выставка донецких художников. Литография, Линогравюра. Цинкография. - Донецк : [б. и.], 1974. - 37 с. : ил. - Б. ц. ГРНТИ 18.31.91 03.29 ББК Щ143(2Р=Р)7 + Т3(2)722 Рубрики: Изобразительное искусство--Альбомы--СССР --- Великая Отечественная война--Альбомы, 1941-1945 гг. --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |
76 З-438 Звонцов, В. М. Основы понимания графики / В. М. Звонцов. - Москва : Издательство Академии художеств СССР, 1963. - 72 с. : ил. - Б. ц. ГРНТИ 18.31.41 ББК Щ15 Ключевые слова: графика -- искусство графики -- станковая графика -- эстамп -- ксилография -- офорт -- резцовая гравюра -- литография -- линогравюра -- монотипия -- гравюра на картоне -- книжная графика -- журнальная графика -- газетная графика -- карикатура -- стенгазета -- плакат -- художественно-производственная графика -- художественное оформление предметов быта Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |