Д706 Достанко, Анатолий Павлович. Пленочные токопроводящие системы СБИС : научное издание / А. П. Достанко, В. В. Баранов, В. В. Шаталов ; Под ред. Ю. Д. Чистякова. - Минск : Вышейшая школа, 1989. - 238 с. : ил. - ISBN 5-339-00247-0 : 4 р.
Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- сверхбольшие интегральные схемы -- СБИС -- системы СБИС -- пленочные токопроводящие системы -- токопроводящие системы Доп.точки доступа: Баранов, Валентин Владимирович; Шаталов, Виктор Васильевич; Чистяков, Ю.Д. \ред.\ Экземпляры всего: 1 кх (1) Свободны: кх (1) |
Ч-689 Чистяков, Ю. Д. Локальное травление в процессах изготовления полупроводниковых приборов на арсениде галлия : (Аналит. обзор) / Ю. Д. Чистяков, О. С. Булатов. - М. : ЦНИИ "Электроника", 1980. - 49 с. : ил. - (Полупроводниковые приборы ; вып. 3(708)). - 0.30 р.
Кл.слова (ненормированные): локальное травление -- полупроводниковые приборы -- арсенид галлия -- обработка поверхностей -- аналитические обзоры Доп.точки доступа: Булатов, О.С. Экземпляры всего: 2 кх (2) Свободны: кх (2) |