П364 Пичугин, Игорь Геннадиевич. Технология полупроводниковых приборов : Учеб. пособие для вузов по спец. "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектрон. приборы" / И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров. - М. : Высшая школа, 1984. - 288 с. : ил. - 1.10 р. Допущено МВиССО СССР
Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые приборы -- технология полупроводниковых приборов -- обработка полупроводников -- фотохимические процессы -- эпитаксильные процессы -- электронно-дырочные структуры -- диффузия -- ионное легирование -- омические контакты -- контактные системы -- защита поверхности полупроводниковых приборов -- учебные пособия Доп.точки доступа: Таиров, Юрий Михайлович Экземпляры всего: 1 кх (1) Свободны: кх (1) |