Ч-689 Чистяков, Ю. Д. Локальное травление в процессах изготовления полупроводниковых приборов на арсениде галлия : (Аналит. обзор) / Ю. Д. Чистяков, О. С. Булатов. - М. : ЦНИИ "Электроника", 1980. - 49 с. : ил. - (Полупроводниковые приборы ; вып. 3(708)). - 0.30 р.
Кл.слова (ненормированные): локальное травление -- полупроводниковые приборы -- арсенид галлия -- обработка поверхностей -- аналитические обзоры Доп.точки доступа: Булатов, О.С. Экземпляры всего: 2 кх (2) Свободны: кх (2) |