В155 Валиев, Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии : научное издание / К. А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - ISBN 5-02-014381-2 : 7.50 р.
Кл.слова (ненормированные): литография -- субмикронная литография -- электронная литография -- ионно-лучевая литография -- фотолитография -- оптическая литография -- резисты Экземпляры всего: 1 чз (1) Свободны: чз (1) |
М80 Моро, Уэйн Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5. Ч. 1 / Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 605 с. : ил. - ISBN 5-03-001716-X : 4.50 р.
Кл.слова (ненормированные): микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- фоторезисты -- фотолитография Экземпляры всего: 2 кх (2) Свободны: кх (2) |
М80 Моро, Уэйн Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5. Ч. 2 / Пер. с англ. Д.Ю. Зарослова, К.Я. Мокроусова, В.А. Никитаева под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 632 с. : ил. - ISBN 5-03-001717-8 : 5.00 р.
Кл.слова (ненормированные): микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- задубливание -- травление -- удаление резистов -- литография -- безрезистная технология Экземпляры всего: 2 кх (2) Свободны: кх (2) |
М341 Материалы электронной техники / Отв. ред. Ф. А. Кузнецов, М. В. Мохосоев; Ин-т неорган. химии СО АН СССР. - Новосибирск : Наука, 1983 - . Ч. 2 : Состав, структура и электрофизические свойства. - 1983. - 192 с. : ил. - 2.10 р.
Кл.слова (ненормированные): материалы электронной техники -- полупроводниковое материаловедение -- материаловедение -- оксидные пленки -- контакты металл-полупроводник -- барьер Шоттки -- электрические свойства полупроводников -- МДП-структуры -- резисты -- литография вакуумная -- сборники Доп.точки доступа: Кузнецов, Федор Андреевич \ред.\; Мохосоев, Маркс Васильевич \ред.\; Ин-т неорган. химии СО АН СССР Экземпляры всего: 1 кх (1) Свободны: кх (1) |