В155 Валиев, Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии : научное издание / К. А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - ISBN 5-02-014381-2 : 7.50 р.
Кл.слова (ненормированные): литография -- субмикронная литография -- электронная литография -- ионно-лучевая литография -- фотолитография -- оптическая литография -- резисты Экземпляры всего: 1 чз (1) Свободны: чз (1) |