Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных

Вид поиска
Книги
Статьи
Электронные издания ВСГУТУ
Статьи преподавателей ВСГУТУ
Вестник ВСГУТУ
Материалы конференций ВСГУТУ
Диссертации
Авторефераты
ГОСТЫ
Статьи о Бурятии

Выберите поиск:
Что искать:
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>A=Киреев, Валерий Юрьевич$<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.
   6П2.151
   К43

    Киреев, Валерий Юрьевич.
    Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур : научное издание / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126 с. : ил. - (Массовая б-ка инженера "Электроника" ; вып. 36). - 0.35 р.
ГРНТИ
47.29
УДК
621.38.049.77
Рубрики: Электроника--Травление вакуумно-плазменное
Кл.слова (ненормированные):
травление вакуумно-плазменное -- вакуумно-плазменное травление


Доп.точки доступа:
Данилин, Борис Степанович; Кузнецов, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие
2.
   6П4.52
   Д182

    Данилин, Борис Степанович.
    Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - 1.40 р.
ГРНТИ
55.22.15
УДК
621.794
Рубрики: Обработка поверхностей--Травление--Монографии
Кл.слова (ненормированные):
обработка поверхностей -- травление материалов -- очистка материалов -- низкотемпературная плазма -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- плазменное травление -- реактивное травление -- вакуумно-плазменное травление -- монографии


Доп.точки доступа:
Киреев, Валерий Юрьевич
Экземпляры всего: 2
кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
ссылка на мобильную версию электронного каталога