Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных

Вид поиска
Книги
Статьи
Электронные издания ВСГУТУ
Статьи преподавателей ВСГУТУ
Вестник ВСГУТУ
Материалы конференций ВСГУТУ
Диссертации
Авторефераты
ГОСТЫ
Статьи о Бурятии

Выберите поиск:
в найденном
Что искать:
 Найдено в других БД:Статьи (8)Электронные издания ВСГУТУ (2)Статьи преподавателей ВСГУТУ (1)Вестник ВСГУТУ (2)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=травление<.>)
Общее количество найденных документов : 25
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-20   21-25 
1.
   621.38
   К682

   Королев, М. А.
    Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для вузов: В 2-х ч. / Королев М.А. [и др.]; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2.
   Ч. 2 : Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. - 2009. - 422 с. : ил. - ISBN 978-5-94744-585-6 : 305.87 р., 230 р.
Рек. УМО
ГРНТИ
47.13.11
УДК
621.38.049.77(075.8)
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--Учебные пособия
Кл.слова (ненормированные):
кремниевые интегральные микросхемы -- интегральные схемы -- масштабирование интегральных микросхем -- маршруты изготовления микросхем -- металлизация интегральных микросхем -- плазменное формирование трехмерных микроструктур -- глубокое анизотропное плазменное травление -- приборно-технологическое моделирование -- учебные пособия


Доп.точки доступа:
Крупкина, Т.Ю.; Путря, М.Г.; Шевяков, В.И.; Чаплыгин, Ю.А. \ред.\
Учебная литература:
ЭтФ / ЭиЭ / 13.03.02 / Электроника / 3 / Осн
Экземпляры всего: 3
чз (2), зал ППС (1)
Свободны: чз (2), зал ППС (1)
Найти похожие
2.
   6П3.4
   Б423

    Беккерт, М.
    Справочник по металлографическому травлению : Пер. с нем. / М. Беккерт, Х. Клемм. - М. : Металлургия, 1979. - 336 с. : ил. - 1.50 р.
ГРНТИ
53.49
УДК
620.18
Рубрики: Металлография--Травление--Справочники
Кл.слова (ненормированные):
травление металлографическое -- металлографическое травление -- металлы -- сплавы металлов -- нелегированные стали -- микротравление -- макротравление -- специальные стали


Доп.точки доступа:
Клемм, Х.
Экземпляры всего: 9
кх (4), аб (5)
Свободны: кх (4), аб (5)
Найти похожие
3.
   6П2.151
   К43

    Киреев, Валерий Юрьевич.
    Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур : научное издание / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126 с. : ил. - (Массовая б-ка инженера "Электроника" ; вып. 36). - 0.35 р.
ГРНТИ
47.29
УДК
621.38.049.77
Рубрики: Электроника--Травление вакуумно-плазменное
Кл.слова (ненормированные):
травление вакуумно-плазменное -- вакуумно-плазменное травление


Доп.точки доступа:
Данилин, Борис Степанович; Кузнецов, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие
4.
   6П2.151
   М80

   Моро, Уэйн
    Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
   Ч. 2 / Пер. с англ. Д.Ю. Зарослова, К.Я. Мокроусова, В.А. Никитаева под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 632 с. : ил. - ISBN 5-03-001717-8 : 5.00 р.
ГРНТИ
47
УДК
621.38.049.77
Рубрики: Микроэлектроника--Микролитография
Кл.слова (ненормированные):
микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- задубливание -- травление -- удаление резистов -- литография -- безрезистная технология

Экземпляры всего: 2
кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие
5.
   621.38
   П781

   
    Проблемы субмикронной технологии : научное издание / ФТИАН ; Отв. ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1993. - 113 с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 6). - ISBN 5-02-006991-4 : 150 р.
ГРНТИ
47.13
УДК
621.38.049.77
Рубрики: Микроэлектроника--Технология
Кл.слова (ненормированные):
субмикронная технология -- технология микроэлектроники -- травление кремния -- плазмохимическое травление -- ионная имплантация -- лазерный отжиг полупроводников


Доп.точки доступа:
Орликовский, А.А. \ред.\; ФТИАН
Экземпляры всего: 1
чз (1)
Свободны: чз (1)
Найти похожие
6.
   6П2.151
   Б447

    Беляева, Нина Константиновна.
    Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов : (по описаниям заруб. изобретений за 1971-1980 гг.) / Н. К. Беляева, А. И. Маштакова. - М. : ЦНИИ "Электроника", 1981. - 50 с. : ил. - (Обзоры по электронной технике. Сер. 1, Электроника СВЧ ; Вып. 12(830)). - 0.60 р.
ГРНТИ
47.33
УДК
621.385.6
Рубрики: Электроника--СВЧ техника--Обзоры
Кл.слова (ненормированные):
травление -- плазменное травление -- СВЧ -- ВЧ -- газовые разряды -- обзоры


Доп.точки доступа:
Маштакова, Антонина Ивановна
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие
7.
   6П5.7
   Р64

    Розбери, Фред.
    Справочник по вакуумной технике и технологии : справочное издание / Ф. Розбери ; Пер. с англ. Н. Б. Шпаро, А. М. Ямпольского; Под общ. ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1972. - 456 с. : ил. - 3.69 р.
ГРНТИ
81.29
УДК
621.52(035)
Рубрики: Вакуумная техника--Справочники
Кл.слова (ненормированные):
вакуумная техника -- очистка электронных приборов -- электролитическое покрытие -- травление -- термообработка -- подогреватели -- термоэлектронные катоды -- геттеры -- справочники


Доп.точки доступа:
Нилендер, Р.А. \ред.\
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие
8.
   6П4.52
   Р177

   
    Разработка и внедрение на ГПЗ-4 нового травильного раствора и оптимальных режимов травления на ожоги деталей приборных подшипников из нержавеющих сталей: Тема 156- 1Х-84 : Копия отчета о НИР / ВНТИЦ, ВНИИ подшипниковой промышленности ; рук. работы Е. А. Островская. - Загорск, 1986. - 48 с. : ил. - № ГР 01840051922. - Инв.№ 0285.0 064249
ГРНТИ
55.03.33
УДК
621.822
РУБ 6П4.52
Рубрики: Детали машин--Подшипники--Копии отчетов о НИР
Кл.слова (ненормированные):
детали приборных подшипников -- подшипники из нержавеющих сталей -- травильные растворы -- травление -- копии отчетов о НИР


Доп.точки доступа:
Островская, Е.А. \рук. работы.\; ВНТИЦВНИИ подшипниковой промышленности
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие
9.
   6П4.2
   Л399

    Ледков, Вячеслав Георгиевич.
    Непрерывные травильные линии : производственно-практическое издание / В. Г. Ледков. - М. : Металлургиздат, 1961. - 158 с. : ил. - 0.48 р.
ГРНТИ
53.43
УДК
621.794
Рубрики: Прокатное производство--Травление
Кл.слова (ненормированные):
травление -- травильные линии -- непрерывные травильные линии -- горячая прокатка -- окалина -- серная кислота -- травильные растворы -- травильное оборудование

Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие
10.
   6П4.52
   Д182

    Данилин, Борис Степанович.
    Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - 1.40 р.
ГРНТИ
55.22.15
УДК
621.794
Рубрики: Обработка поверхностей--Травление--Монографии
Кл.слова (ненормированные):
обработка поверхностей -- травление материалов -- очистка материалов -- низкотемпературная плазма -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- плазменное травление -- реактивное травление -- вакуумно-плазменное травление -- монографии


Доп.точки доступа:
Киреев, Валерий Юрьевич
Экземпляры всего: 2
кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие
 1-10    11-20   21-25 
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
ссылка на мобильную версию электронного каталога