Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных

Вид поиска


Выберите поиск:
Что искать:
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=топология изделий микроэлектроники<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   6П2.151
   Ч-563


    Чехович, Евгений Казимирович.
    Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники : научное издание / Е. К. Чехович ; Ин-т электроники АН БССР. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. : ил. - ISBN 5-343-00087-8 : 1.70 р.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микроэлектроника--Контроль топологии изделий
Кл.слова (ненормированные):
топология изделий микроэлектроники -- контроль топологии изделий -- контрольно-измерительное оборудование -- преобразование информации -- оптико-электронные методы контроля


Доп.точки доступа:
Ин-т электроники АН БССР
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие

 
ссылка на мобильную версию электронного каталога