Авторизация
Фамилия
Пароль
Электронный каталог
Научной библиотеки ВСГУТУ
Базы данных
Книги- результаты поиска
Вид поиска
Книги
Статьи
Электронные издания ВСГУТУ
Статьи преподавателей ВСГУТУ
Вестник ВСГУТУ
Материалы конференций ВСГУТУ
Диссертации
Авторефераты
ГОСТЫ
Статьи о Бурятии
Выберите поиск:
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
Что искать:
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Поисковый запрос:
(<.>K=тонкопленочное производство<.>)
Общее количество найденных документов
:
1
>
1.
6П2.151
Т384
Технология тонких пленок : справочник / Под ред. Л. Майселла, Р. Глэнга ; Пер. с англ. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. - М. : Советское радио, 1977 - .
Т. 1
. - 1977. - 662 с. : ил. - ). - 4.02 р.
ГРНТИ
81.29
УДК
621.793(035)
Рубрики:
Микроэлектроника--Пленки тонкие--Справочники
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника
--
вакуумные технологии
--
тонкие пленки
--
изготовление тонких пленок
--
вакуумное испарение
--
испарение
--
испарители
--
тонкопленочное
производство
--
справочники
Доп.точки доступа:
Майселл, Леон \ред.\; Глэнг, Рейнхард \ред.\; Елинсон, М.И. \пер.\; Смолко, Г.Г. \пер.\
Экземпляры всего:
1
кх (1)
Свободны:
кх (1)
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
ссылка на мобильную версию электронного каталога