Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных

Вид поиска
Книги
Статьи
Электронные издания ВСГУТУ
Статьи преподавателей ВСГУТУ
Вестник ВСГУТУ
Материалы конференций ВСГУТУ
Диссертации
Авторефераты
ГОСТЫ
Статьи о Бурятии

Выберите поиск:
Что искать:
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=плазменное травление<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.
   6П2.151
   Б447

    Беляева, Нина Константиновна.
    Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов : (по описаниям заруб. изобретений за 1971-1980 гг.) / Н. К. Беляева, А. И. Маштакова. - М. : ЦНИИ "Электроника", 1981. - 50 с. : ил. - (Обзоры по электронной технике. Сер. 1, Электроника СВЧ ; Вып. 12(830)). - 0.60 р.
ГРНТИ
47.33
УДК
621.385.6
Рубрики: Электроника--СВЧ техника--Обзоры
Кл.слова (ненормированные):
травление -- плазменное травление -- СВЧ -- ВЧ -- газовые разряды -- обзоры


Доп.точки доступа:
Маштакова, Антонина Ивановна
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие
2.
   6П4.52
   Д182

    Данилин, Борис Степанович.
    Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - 1.40 р.
ГРНТИ
55.22.15
УДК
621.794
Рубрики: Обработка поверхностей--Травление--Монографии
Кл.слова (ненормированные):
обработка поверхностей -- травление материалов -- очистка материалов -- низкотемпературная плазма -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- плазменное травление -- реактивное травление -- вакуумно-плазменное травление -- монографии


Доп.точки доступа:
Киреев, Валерий Юрьевич
Экземпляры всего: 2
кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
ссылка на мобильную версию электронного каталога