Научная библиотека ВСГУТУ

Базы данных

Вид поиска

Книги

Статьи

Электронные издания ВСГУТУ

Статьи преподавателей ВСГУТУ

Вестник ВСГУТУ

Материалы конференций ВСГУТУ

Выберите поиск:
Что искать:

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=осаждение слоев<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   621.38
   К682

   Королев, Михаил Александрович
    Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для вузов по спец. 240104 (200100) "Микроэлектроника и твердотел. электроника": В 2-х ч. / М.А. Королёв, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2007 - . - ISBN 978-5-94774-337-1.
   Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование : . - 2007. - 397 с. : ил. - ISBN 978-5-94774-336-4 : 200 р.
Рек. УМО

ГРНТИ	47.03.05
УДК	621.38.049.77(075.8)

Рубрики: Микроэлектроника--Интегральные микросхемы--Учебные пособия
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- кремниевые интегральные схемы -- полупроводниковые материалы -- диэлектрические пленки -- легирование полупроводниковых материалов -- литографические процессы -- металлизация -- математическое моделирование -- ионная имплантация -- термическое окисление кремния -- диффузия примеси -- моделирование травления -- осаждение слоев -- фитолитография -- учебные пособия

Доп.точки доступа:
Крупкина, Татьяна Юрьевна; Ревелева, Марина Алексеевна; Чаплыгин, Ю.А. \ред.\
Экземпляры всего: 3
зал ППС (1), чз (2)
Свободны: зал ППС (1), чз (2)
Найти похожие

Тематический навигатор

ссылка на мобильную версию электронного каталога

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска