Научная библиотека ВСГУТУ

Базы данных

Вид поиска

Книги

Статьи

Электронные издания ВСГУТУ

Статьи преподавателей ВСГУТУ

Вестник ВСГУТУ

Материалы конференций ВСГУТУ

Выберите поиск:
Что искать:

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=микролитография<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

   6П2.151
   М80

   Моро, Уэйн
    Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
   Ч. 1 / Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 605 с. : ил. - ISBN 5-03-001716-X : 4.50 р.

ГРНТИ	47
УДК	621.38.049.77

Рубрики: Микроэлектроника--Микролитография
Кл.слова (ненормированные):
микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- фоторезисты -- фотолитография

Экземпляры всего: 2
кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие

   6П2.151
   М80

   Моро, Уэйн
    Микролитография : принципы, методы, материалы: В 2-х ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
   Ч. 2 / Пер. с англ. Д.Ю. Зарослова, К.Я. Мокроусова, В.А. Никитаева под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990. - 632 с. : ил. - ISBN 5-03-001717-8 : 5.00 р.

ГРНТИ	47
УДК	621.38.049.77

Рубрики: Микроэлектроника--Микролитография
Кл.слова (ненормированные):
микролитография -- полупроводниковые приборы -- резисты -- задубливание -- травление -- удаление резистов -- литография -- безрезистная технология

Экземпляры всего: 2
кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие

Тематический навигатор

ссылка на мобильную версию электронного каталога

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска