Авторизация
Фамилия
Пароль
Электронный каталог
Научной библиотеки ВСГУТУ
Базы данных
Книги- результаты поиска
Вид поиска
Книги
Статьи
Электронные издания ВСГУТУ
Статьи преподавателей ВСГУТУ
Вестник ВСГУТУ
Материалы конференций ВСГУТУ
Диссертации
Авторефераты
ГОСТЫ
Статьи о Бурятии
Выберите поиск:
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
Что искать:
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Поисковый запрос:
(<.>K=металлизация интегральных микросхем<.>)
Общее количество найденных документов
:
1
>
1.
621.38
К682
Королев, М. А.
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых
интегральных
микросхем
: учеб. пособие для вузов: В 2-х ч. / Королев М.А. [и др.]; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2.
Ч. 2
: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. - 2009. - 422 с. : ил. -
ISBN
978-5-94744-585-6 : 305.87 р., 230 р.
Рек. УМО
ГРНТИ
47.13.11
УДК
621.38.049.77(075.8)
Рубрики:
Электроника--
Интегральные
микросхемы
--Учебные пособия
Кл.слова (ненормированные):
кремниевые
интегральные
микросхемы
--
интегральные
схемы
--
масштабирование
интегральных
микросхем
--
маршруты изготовления
микросхем
--
металлизация
интегральных
микросхем
--
плазменное формирование трехмерных микроструктур
--
глубокое анизотропное плазменное травление
--
приборно-технологическое моделирование
--
учебные пособия
Доп.точки доступа:
Крупкина, Т.Ю.; Путря, М.Г.; Шевяков, В.И.; Чаплыгин, Ю.А. \ред.\
Учебная литература:
ЭтФ / ЭиЭ / 13.03.02 / Электроника / 3 / Осн
Экземпляры всего:
3
чз (2), зал ППС (1)
Свободны:
чз (2), зал ППС (1)
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
ссылка на мобильную версию электронного каталога