Научная библиотека ВСГУТУ

Базы данных

Вид поиска

Книги

Статьи

Электронные издания ВСГУТУ

Статьи преподавателей ВСГУТУ

Вестник ВСГУТУ

Материалы конференций ВСГУТУ

Выберите поиск:
Что искать:

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=масштабирование интегральных микросхем<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   621.38
   К682

   Королев, М. А.
    Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для вузов: В 2-х ч. / Королев М.А. [и др.]; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2.
   Ч. 2 : Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. - 2009. - 422 с. : ил. - ISBN 978-5-94744-585-6 : 305.87 р., 230 р.
Рек. УМО

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.38.049.77(075.8)

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--Учебные пособия
Кл.слова (ненормированные):
кремниевые интегральные микросхемы -- интегральные схемы -- масштабирование интегральных микросхем -- маршруты изготовления микросхем -- металлизация интегральных микросхем -- плазменное формирование трехмерных микроструктур -- глубокое анизотропное плазменное травление -- приборно-технологическое моделирование -- учебные пособия

Доп.точки доступа:
Крупкина, Т.Ю.; Путря, М.Г.; Шевяков, В.И.; Чаплыгин, Ю.А. \ред.\
Учебная литература:
ЭтФ / ЭиЭ / 13.03.02 / Электроника / 3 / Осн
Экземпляры всего: 3
чз (2), зал ППС (1)
Свободны: чз (2), зал ППС (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

ссылка на мобильную версию электронного каталога

Базы данных

Книги- результаты поиска

Вид поиска