Авторизация
Фамилия
Пароль
Электронный каталог
Научной библиотеки ВСГУТУ
Базы данных
Книги- результаты поиска
Вид поиска
Книги
Статьи
Электронные издания ВСГУТУ
Статьи преподавателей ВСГУТУ
Вестник ВСГУТУ
Материалы конференций ВСГУТУ
Диссертации
Авторефераты
ГОСТЫ
Статьи о Бурятии
Выберите поиск:
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
Что искать:
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Отсортировать найденные документы по:
автору
заглавию
году издания
типу документа
Поисковый запрос:
(<.>K=ионная имплантация<.>)
Общее количество найденных документов
:
6
Показаны документы
с 1 по 6
>
1.
621
В411
Вивденко, Юрий Николаевич
.
Технологические системы производства деталей наукоемкой техники : Учеб. пособие для вузов по напр. "Конструктор.-технол. обеспеч. машиностр. пр-в" / Ю.Н. Вивденко. - М. : Машиностроение, 2006. - 558 с. : ил. - (Для вузов). -
ISBN
5-217-03334-7 : 598.00 р., 666.05 р., 578.00 р., 578.50 р.
Допущено МОиН РФ
ГРНТИ
81.13.13
УДК
621(075.8)
Рубрики:
Машиностроение--Технологические системы--Учебные пособия
Кл.слова (ненормированные):
технологические системы производства деталей
--
наукоемкая техника
--
производство деталей наукоемкой техники
--
предварительный нагрев материалов
--
электроалмазное шлифование
--
смазочно-охлаждающие технологические средства
--
отделочно-зачистная обработка
--
вибрац
ионная
обработка
--
галтовочная обработка
--
центробежная обработка
--
магнитно-абразивная обработка
--
абразивно-экструз
ионное
полирование
--
струйно-абразивная обработка
--
упрочнение металлов
--
деформац
ионное
упрочнение
--
легирование
--
поверхностное пластическое деформирование
--
лазерное упрочнение
--
ионная
имплантация
--
электроэроз
ионное
упрочнение
--
газотермическое напыление
--
прециз
ионная
обработка
--
нанотехнологии
--
промышленная чистота
--
контроль промышленной чистоты изделий
--
учебные пособия
Учебная литература:
МСФ / ТММС / 15.04.05 / Нанотехнологии и современные материалы в машиностроении / 1 / Осн
ФЭСТД / КДИТ / 29.04.03 / Принципы создания интеллектуальных материалов и конструкций в полиграфии и упаковке / 3 / Осн
МСФ / ТММС / 15.03.05 / Физические основы процессов воздействия концентрированными видами энергии / 5 / Доп
Экземпляры всего:
14
чз (3), аб (11)
Свободны:
чз (3), аб (11)
Найти похожие
>
2.
621.38
К682
Королев, Михаил Александрович
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для вузов по спец. 240104 (200100) "Микроэлектроника и твердотел. электроника": В 2-х ч. / М.А. Королёв, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева; Под общ. ред. Ю.А. Чаплыгина. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2007 - . - ISBN 978-5-94774-337-1.
Ч. 1
: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование : . - 2007. - 397 с. : ил. -
ISBN
978-5-94774-336-4 : 200 р.
Рек. УМО
ГРНТИ
47.03.05
УДК
621.38.049.77(075.8)
Рубрики:
Микроэлектроника--Интегральные микросхемы--Учебные пособия
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы
--
кремниевые интегральные схемы
--
полупроводниковые материалы
--
диэлектрические пленки
--
легирование полупроводниковых материалов
--
литографические процессы
--
металлизация
--
математическое моделирование
--
ионная
имплантация
--
термическое окисление кремния
--
диффузия примеси
--
моделирование травления
--
осаждение слоев
--
фитолитография
--
учебные пособия
Доп.точки доступа:
Крупкина, Татьяна Юрьевна; Ревелева, Марина Алексеевна; Чаплыгин, Ю.А. \ред.\
Экземпляры всего:
3
зал ППС (1), чз (2)
Свободны:
зал ППС (1), чз (2)
Найти похожие
>
3.
621.38
Г74
Готра, Зенон Юрьевич
.
Технология микроэлектронных устройств : Справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил. -
ISBN
5-256-00699-1 : 4 р.
ГРНТИ
47.13.11
УДК
621.38.049.77(035)
Рубрики:
Микроэлектроника--Микроэлектронные устройства--Технология--Справочники
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные устройства
--
технология микроэлектронных устройств
--
монокристаллические материалы
--
полупроводниковые материалы
--
ионная
имплантация
--
тонкие пленки
--
фотошаблоны
--
сборка микроэлектронных устройств
--
герметизация микроэлектронных устройств
--
справочники
Экземпляры всего:
7
аб (5), чз (1), зал ППС (1)
Свободны:
аб (5), чз (1), зал ППС (1)
Найти похожие
>
4.
621.38
П781
Проблемы субмикронной технологии
: научное издание / ФТИАН ; Отв. ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1993. - 113 с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 6). -
ISBN
5-02-006991-4 : 150 р.
ГРНТИ
47.13
УДК
621.38.049.77
Рубрики:
Микроэлектроника--Технология
Кл.слова (ненормированные):
субмикронная технология
--
технология микроэлектроники
--
травление кремния
--
плазмохимическое травление
--
ионная
имплантация
--
лазерный отжиг полупроводников
Доп.точки доступа:
Орликовский, А.А. \ред.\; ФТИАН
Экземпляры всего:
1
чз (1)
Свободны:
чз (1)
Найти похожие
>
5.
621.89
Т67
Трибология
: Исследования и приложения : Опыт США и стран СНГ / Под ред. В. А. Белого, К. Лудемы, Н. К. Мышкина. - Москва : Машиностроение, 1993. - 451 с. : ил. -
ISBN
5-217-00975-6 : 1800.00 р.
ГРНТИ
55.03.11
УДК
621.89
531.4
621.81
Рубрики:
Трибология--Трение--Смазка--Изнашивание--США--СНГ
Кл.слова (ненормированные):
трение твердых тел
--
изнашивание твердых тел
--
кислотно-основные реакции твердых тел
--
фрикц
ионное
взаимодействие твердых тел
--
триботехническое материаловедение
--
деформации при изнашивании
--
металлические материалы
--
полимеры
--
композиты
--
модифицикация поверхностей
--
вакуумно
ионно
-плазменный метод
--
ионная
имплантация
--
твердые смазки
--
полимерные самосмазывающиеся материалы
--
граничная смазка
--
подшипниковые сплавы
--
трибология электрических контактов
--
испытания на износ
--
диагностика изнашивания подвижных сопряжений
Доп.точки доступа:
Белый, В. А. \ред.\; Лудема, К. \ред.\; Мышкин, Н. К. \ред.\
Экземпляры всего:
2
зал ППС (1), чз (1)
Свободны:
зал ППС (1), чз (1)
Найти похожие
>
6.
6П4.4
М744
Модифицирование и легирование
поверхности лазерными,
ионными
и электронными пучками : научное издание / Пер. с англ. Н.К. Мышкина, А.В. Белого, В.М. Анищика ; Под ред. Дж. Поута [и др.]. - М. : Машиностроение, 1987. - 424 с. : ил. - 2.20 р.
ГРНТИ
55.20.15
УДК
621.9.048
Рубрики:
Электрохимическая обработка--Обработка потоками энергии
Кл.слова (ненормированные):
модифицирование поверхности металлов
--
легирование поверхности металлов
--
импульсное лазерное облучение
--
электронное облучение
--
ионное
облучение
--
кристаллизация
--
сегрегация
--
пересыщенные сплавы
--
твердофазная перекристаллизация в кремнии
--
метастабильные фазы
--
каскады столкновений
--
термические пики
--
перераспределение примесей
--
стабильность фаз при облучении
--
ионно
-лучевое перемещение
--
распыление атомовлен
--
легирование алюминия
--
ионная
имплантация
--
лазерное поверхностное легирование
Доп.точки доступа:
Поут, Дж. \ред.\; Фоти, Г. \ред.\; Джекобсон, Д.К. \ред.\
Экземпляры всего:
2
кх (2)
Свободны:
кх (2)
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
ссылка на мобильную версию электронного каталога