Поисковый запрос: (<.>K=травление<.>) |
Общее количество найденных документов : 25
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1.
| Королев М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Ч. 2:Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. - 2009
|
2.
| Беккерт М. Справочник по металлографическому травлению/М. Беккерт, Х. Клемм. - 1979
|
3.
| Киреев В.Ю. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур/В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - 1983
|
4.
| Моро, Уэйн Микролитография. Ч. 2/Пер. с англ. Д.Ю. Зарослова, К.Я. Мокроусова, В.А. Никитаева под ред. Р.Х. Тимерова с предисл. К.А. Валиева. - 1990
|
5.
| Проблемы субмикронной технологии/ФТИАН. - 1993
|
6.
| Беляева Н.К. Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов/Н. К. Беляева, А. И. Маштакова. - 1981
|
7.
| Розбери Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии/Ф. Розбери ; Пер. с англ. Н. Б. Шпаро, А. М. Ямпольского; Под общ. ред. Р. А. Нилендера. - 1972
|
8.
| Разработка и внедрение на ГПЗ-4 нового травильного раствора и оптимальных режимов травления на ожоги деталей приборных подшипников из нержавеющих сталей: Тема 156- 1Х-84/ВНТИЦ, ВНИИ подшипниковой промышленности. - 1986
|
9.
| Ледков В.Г. Непрерывные травильные линии/В. Г. Ледков. - 1961
|
10.
| Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов/Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - 1987
|
|
|
|
Книги
Стандартный