Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных

Вид поиска
Книги
Статьи
Электронные издания ВСГУТУ
Статьи преподавателей ВСГУТУ
Вестник ВСГУТУ
Материалы конференций ВСГУТУ
Диссертации
Авторефераты
ГОСТЫ
Статьи о Бурятии

Выберите поиск:
Что искать:
 Найдено в других БД:Вестник ВСГУТУ (1)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=плазмохимическое травление<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   621.38
   П781

   
    Проблемы субмикронной технологии : научное издание / ФТИАН ; Отв. ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1993. - 113 с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 6). - ISBN 5-02-006991-4 : 150 р.
ГРНТИ
47.13
УДК
621.38.049.77
Рубрики: Микроэлектроника--Технология
Кл.слова (ненормированные):
субмикронная технология -- технология микроэлектроники -- травление кремния -- плазмохимическое травление -- ионная имплантация -- лазерный отжиг полупроводников


Доп.точки доступа:
Орликовский, А.А. \ред.\; ФТИАН
Экземпляры всего: 1
чз (1)
Свободны: чз (1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
ссылка на мобильную версию электронного каталога