Авторизация
Фамилия
Пароль
Электронный каталог
Научной библиотеки ВСГУТУ
Базы данных
Книги- результаты поиска
Вид поиска
Книги
Статьи
Электронные издания ВСГУТУ
Статьи преподавателей ВСГУТУ
Вестник ВСГУТУ
Материалы конференций ВСГУТУ
Диссертации
Авторефераты
ГОСТЫ
Статьи о Бурятии
Выберите поиск:
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
Что искать:
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Отсортировать найденные документы по:
автору
заглавию
году издания
типу документа
Поисковый запрос:
(<.>A=Киреев, Валерий Юрьевич$<.>)
Общее количество найденных документов
:
2
Показаны документы
с 1 по 2
>
1.
6П4.52
Д182
Данилин, Борис Степанович
.
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов : монография / Б. С. Данилин, В. Ю.
Киреев
. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - 1.40 р.
ГРНТИ
55.22.15
УДК
621.794
Рубрики:
Обработка поверхностей--Травление--Монографии
Кл.слова (ненормированные):
обработка поверхностей
--
травление материалов
--
очистка материалов
--
низкотемпературная плазма
--
ионно-плазменное травление
--
ионно-лучевое травление
--
радикальное травление
--
плазменное травление
--
реактивное травление
--
вакуумно-плазменное травление
--
монографии
Доп.точки доступа:
Киреев
,
Валерий
Юрьевич
Экземпляры всего:
2
кх (2)
Свободны:
кх (2)
Найти похожие
>
2.
6П2.151
К43
Киреев
,
Валерий
Юрьевич
.
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур : научное издание / В. Ю.
Киреев
, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126 с. : ил. - (Массовая б-ка инженера "Электроника" ; вып. 36). - 0.35 р.
ГРНТИ
47.29
УДК
621.38.049.77
Рубрики:
Электроника--Травление вакуумно-плазменное
Кл.слова (ненормированные):
травление вакуумно-плазменное
--
вакуумно-плазменное травление
Доп.точки доступа:
Данилин, Борис Степанович; Кузнецов, Владимир Иванович
Экземпляры всего:
1
кх (1)
Свободны:
кх (1)
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
ссылка на мобильную версию электронного каталога