Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных

Вид поиска


Выберите поиск:
Что искать:
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=диэлектрические плёнки<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   6П2.151
   К665


    Корж, Иван Александрович.
    Получение и исследование диэлектрических пленок сложных кислородных соединений редкоземельных элементов для создания микроэлектронных устройств : Автореф. дис. ... к.т.н.: 05.12.18 - Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и спец. оборуд. / И. А. Корж ; Моск. ин-т электрон. техники. - М., 1981. - 23 с. -
ГРНТИ
РУБ 6П2.151
Рубрики: Микроэлектроника--Микросхемы--Авторефераты диссертаций
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные устройства -- диэлектрические плёнки -- тонкопленочные технологии -- АВТОРЕФЕРАТЫ ДИССЕРТАЦИЙ

Перейти к внешнему ресурсу: http://esstu.ru/library/free/Avtoreferat/Корж_И_А.pdf

Доп.точки доступа:
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
зал ППС (1)
Свободны: зал ППС (1)
Найти похожие

 
ссылка на мобильную версию электронного каталога