Научная библиотека ВСГУТУ

   621.3
   Л55

    Ли Цзень Фень
    Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком : Автореф. дис. ... к.т.н.: 05.09.02 - Электротехн. материалы и изделия. 01.04.04 - Физ. электроника. - Защищена 03.07.2006 / Ли Цзень Фень ; Науч.-исслед. ин-т высоких напряжений. - Томск, 2006. - 18 с. : ил. -

47
УДК	621.315.5	621.382

Рубрики: Электротехника--Электротехнические материалы--Авторефераты диссертаций
Электроника физическая--Исследования импульсной эрозии--Авторефераты диссертаций
Кл.слова (ненормированные):
электротехнические материалы -- пленки GaAs -- абляционная плазма -- импульсные мощные ионные пучки -- импульсные МИП -- арсенид галлия -- импульсная эрозия -- диэлектрические подложки -- полупроводниковые подложки -- наноразмерные кристаллиты -- авторефераты диссертаций

Перейти к внешнему ресурсу: http://esstu.ru/library/free/Avtoreferat/Ли_Ц_Ф.pdf

Доп.точки доступа:
Научно-исследовательский институт высоких напряжений
Экземпляры всего: 1
зал ППС (1)
Свободны: зал ППС (1)
Найти похожие

Стандартный

Тематический навигатор

ссылка на мобильную версию электронного каталога

Базы данных

Авторефераты- результаты поиска

Вид поиска