Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Б825 Автор(ы) : Борисенко, Александр Сергеевич, Бавыкин, Николай Иванович Заглавие : Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : Учеб. для сред. спец. учеб. заведений Выходные данные : М.: Машиностроение, 1983 Колич.характеристики :319 с.: ил. Примечания : Допущено МВиССО СССР Цена : 1 р. ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.38.049.77(075.32) Предметные рубрики: Микроэлектроника-- Учебники Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Бавыкин, Николай Иванович