Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Т22 Автор(ы) : Таруи, Ясуо Заглавие : Основы технологии сверхбольших интегральных схем : научное издание Выходные данные : М.: Радио и связь, 1985 Колич.характеристики :480 с.: ил. Цена : 2.70 р. ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.38.049.77 Предметные рубрики: Электроника-- Интегральные схемы-- СБИС Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1)