Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 66/Ф503 Заглавие : Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремневых пленок солнечного качества : отчет о НИР (промежуточ.) .-. - № ГР 01.2007.10047 Выходные данные : Улан-Удэ, 2009 Колич.характеристики :12 с.: ил Коллективы : ВСГТУ ГРНТИ : 29.27 УДК : 66.04 + 533.9 + 661.6 Предметные рубрики: Физика плазмы-- Кремний-- Отчеты о НИР Экземпляры :зал ППС(1) Свободны : зал ППС(1) Доп.точки доступа: Шагдаров, В.Б. \рук. работы.\; ВСГТУ