Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 66/Ф503 Заглавие : Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремниевых пленок солнечного качества : отчет о НИР (промежуточ.) Выходные данные : Улан-Удэ, 2008 Колич.характеристики :16 с.: ил Коллективы : ВСГТУ ГРНТИ : 29.27 УДК : 66.04 + 533.9 + 661.6 Предметные рубрики: Физика плазмы-- Кремний-- Отчеты о НИР Экземпляры :зал ППС(1) Свободны : зал ППС(1) Доп.точки доступа: Шагдаров, В.Б. \рук. работы.\; ВСГТУ