Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 66/Ф503 Заглавие : Физика низкотемпературной плазмы (взаимодействие низкотемпературной плазмы с твердыми стенами). Плазменные и плазмохимические технологии. Фундаментальные проблемы технологии получения кремния и кремниевых пленок солнечного качества: Отчет о НИР (промежуточ.)/ Рук. Г.-Н.Б. Дандарон; ВСГТУ. - № ГР 01.200.71047. .- Выходные данные : Улан-Удэ, 2007 - Колич.характеристики :14 с.: ил ГРНТИ : 29.27 УДК : 66.04 + 533.9 + 661.6 Предметные рубрики: Физика плазмы-- Кремний-- Отчеты о НИР Экземпляры :зал ППС(1) Свободны : зал ППС(1) Доп.точки доступа: Дандарон, Г.-Н.Б.