Т384 Технология тонких пленок : справочник / Под ред. Л. Майселла, Р. Глэнга ; Пер. с англ. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. - М. : Советское радио, 1977 - . Т. 1. - 1977. - 662 с. : ил. - ). - 4.02 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- вакуумные технологии -- тонкие пленки -- изготовление тонких пленок -- вакуумное испарение -- испарение -- испарители -- тонкопленочное производство -- справочники Доп.точки доступа: Майселл, Леон \ред.\; Глэнг, Рейнхард \ред.\; Елинсон, М.И. \пер.\; Смолко, Г.Г. \пер.\ Экземпляры всего: 1 кх (1) Свободны: кх (1) |