Б447 Беляева, Нина Константиновна. Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов : (по описаниям заруб. изобретений за 1971-1980 гг.) / Н. К. Беляева, А. И. Маштакова. - М. : ЦНИИ "Электроника", 1981. - 50 с. : ил. - (Обзоры по электронной технике. Сер. 1, Электроника СВЧ ; Вып. 12(830)). - 0.60 р.
Кл.слова (ненормированные): травление -- плазменное травление -- СВЧ -- ВЧ -- газовые разряды -- обзоры Доп.точки доступа: Маштакова, Антонина Ивановна Экземпляры всего: 1 кх (1) Свободны: кх (1) |