6П2.151
   М597


   
    Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники : Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / Под ред. А. А. Сазонова. - М. : Радио и связь, 1988. - 263 с. : ил. - ISBN 5-256-00143-4 : 0.90 р.
Допущено МВиССО СССР
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микроэлектроника--Технологическое оборудование--Управление--Учебные пособия
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- технологическое оборудование микроэлектроники -- микропроцессорное управление оборудованием -- управление технологическим оборудованием -- производство микросхем -- учебные пособия


Доп.точки доступа:
Сазонов, Александр Афанасьевич \ред.\
Экземпляры всего: 2
кх (2)
Свободны: кх (2)