П781 Проблемы субмикронной технологии : научное издание / ФТИАН ; Отв. ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1993. - 113 с. : ил. - (Труды ФТИАН ; т. 6). - ISBN 5-02-006991-4 : 150 р.
Кл.слова (ненормированные): субмикронная технология -- технология микроэлектроники -- травление кремния -- плазмохимическое травление -- ионная имплантация -- лазерный отжиг полупроводников Доп.точки доступа: Орликовский, А.А. \ред.\; ФТИАН Экземпляры всего: 1 чз (1) Свободны: чз (1) |