Г74 Готра, Зенон Юрьевич. Справочник по технологии микроэлектронных устройств : справочное издание / З. Ю. Готра. - Львов : Каменяр, 1986. - 287 с. : ил. - 1 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные устройства -- технология микроэлектронных устройств -- полупроводниковые материалы -- литография -- тонкие пленки -- фотошаблоны -- сборка микроэлектронных устройств -- справочники Экземпляры всего: 3 зал ППС (1), чз (1), аб (1) Свободны: зал ППС (1), чз (1), аб (1) |