Г74 Готра, Зенон Юрьевич. Технология микроэлектронных устройств : Справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил. - ISBN 5-256-00699-1 : 4 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные устройства -- технология микроэлектронных устройств -- монокристаллические материалы -- полупроводниковые материалы -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотошаблоны -- сборка микроэлектронных устройств -- герметизация микроэлектронных устройств -- справочники Экземпляры всего: 7 аб (5), чз (1), зал ППС (1) Свободны: аб (5), чз (1), зал ППС (1) |