Л66 Лич, Ричард К.. Инженерные основы измерений нанометровой точности : [Учебное пособие для студентов и преподавателей технических университетов] / Р. Лич ; Пер. с англ. А. В. Заблоцкого. - Долгопрудный : Интеллект, 2012. - 400 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 390. - ISBN 978-5-91559-119-5 (в пер.). - ISBN 978-0-08-096454-6 : 1270.50 р.
Метрология--Учебные пособия Кл.слова (ненормированные): нанометровая точность -- метрология -- нанотехнологии -- инженерные основы измерений -- прецизионные средства измерений -- интерферометрия -- измерение перемещений -- средства измерений -- сканирующая зондовая микроскопия -- электронная микроскопия -- ионная микроскопия -- рельеф поверхности -- координатная метрология -- измерения сил -- измерения масс -- учебные пособия Учебная литература: ИПИБ / СМУК / 27.03.01 / Конструирование и расчет средств измерений / 6 / Осн Экземпляры всего: 2 чз (2) Свободны: чз (1) |