К665 Корж, Иван Александрович. Получение и исследование диэлектрических пленок сложных кислородных соединений редкоземельных элементов для создания микроэлектронных устройств : Автореф. дис. ... к.т.н.: 05.12.18 - Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и спец. оборуд. / И. А. Корж ; Моск. ин-т электрон. техники. - М., 1981. - 23 с. -
Рубрики: Микроэлектроника--Микросхемы--Авторефераты диссертаций Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные устройства -- диэлектрические плёнки -- тонкопленочные технологии -- АВТОРЕФЕРАТЫ ДИССЕРТАЦИЙ Перейти к внешнему ресурсу: http://esstu.ru/library/free/Avtoreferat/Корж_И_А.pdf Доп.точки доступа: Московский институт электронной техники Экземпляры всего: 1 зал ППС (1) Свободны: зал ППС (1) |