6П2.151
   Б90

    Бубенников, Александр Николаевич.
    Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем : Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники" / А. Н. Бубенников. - М. : Высшая школа, 1989. - 320 с. : ил. - ISBN 5-06-000123-7 : 36 р.
Допущено ГК СССР по нар. образованию
ГРНТИ 47.33.31
УДК:621.38.049.77(075.8)
Ключевые слова: интегральные микросхемы -- микротехнологии -- моделирование БИС -- БИС -- учебные пособия
Экземпляры всего: 2
Mесто хранения: кх (2)
Свободны: кх (2)