6П2.151 Б484 Березин, Андрей Сергеевич. Технология и конструирование интегральных микросхем : Учеб. пособие для втузов / А. С. Березин, О. Р. Мочалкина ; Под ред. И. П. Степаненко. - М. : Радио и связь, 1983. - 232 с. : ил. - 0.80 р. Допущено МВиССО СССР ГРНТИ 47.33.31 УДК:621.38.049.77(075.8) Ключевые слова: интегральные микросхемы -- технология микросхем -- конструирование микросхем -- кремний -- тонкие пленки -- фотолитография -- учебные пособия Доп.точки доступа: Мочалкина, Ольга Романовна --- Степаненко, Игорь Павлович \ред.\ --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |