6П2.151 К43 Киреев, Валерий Юрьевич. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур : научное издание / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126 с. : ил. - (Массовая б-ка инженера "Электроника" ; вып. 36). - 0.35 р. ГРНТИ 47.29 УДК:621.38.049.77 Ключевые слова: травление вакуумно-плазменное -- вакуумно-плазменное травление Доп.точки доступа: Данилин, Борис Степанович --- Кузнецов, Владимир Иванович --- Экземпляры всего: 1 Mесто хранения: кх (1) Свободны: кх (1) |