621.38 Н553 Несмелов, Н. С. Физические основы микроэлектроники : Учеб.-метод. пособие [для вузов] / Н.С. Несмелов, М.М. Славникова ; ТУСУР. - Томск : Томский межвузовский центр дистанционного образования, 2002. - 122 с. : ил. - 48.80 р. ГРНТИ 47 УДК:621.38.049.77(075.8) Ключевые слова: микроэлектроника -- учебно-методические пособия Доп.точки доступа: Славникова, М.М. --- ТУСУР Экземпляры всего: 5 Mесто хранения: чз (5) Свободны: чз (5) |