681.5 А224 Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / Под ред. А.А. Сазонова. - М. : Высшая школа, 1991. - 334 с. : ил. - ISBN 5-06-000731-6 : 1.60 р. Допущено ГК СССР по нар. образованию ГРНТИ 47.01.85 УДК:621.38.049.77(075.8) Ключевые слова: автоматизация технологического оборудования -- информационно-измерительные системы -- управляющие устройства -- системы управления процессами -- учебные пособия Доп.точки доступа: Сазонов, Александр Афанасьевич \ред.\ --- Экземпляры всего: 102 Mесто хранения: чз (4), аб (96), кх (2) Свободны: чз (4), аб (96), кх (2) |