6П2.151 П533 Полупроводниковые пленки для микроэлектроники : научное издание / Ин-т физики полупроводников СО АН СССР ; Отв. ред. Л.Н. Александров, В.И. Петросян. - Новосибирск : Наука, 1977. - 248 с. : ил. - 1.60 р. ГРНТИ 47.03.05 УДК:621.315.592 Ключевые слова: полупроводниковые материалы -- полупроводниковые пленки -- быстроконденсированные пленки -- дефекты полупроводников -- мнокристаллические слои -- монографии Доп.точки доступа: Александров, Л.Н. \ред.\ --- Петросян, В.И. \ред.\ --- Ин-т физики полупроводников СО АН СССР Экземпляры всего: 2 Mесто хранения: кх (2) Свободны: кх (2) |